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认识智能烤胶机

发布日期: 2023-12-19
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光刻工艺及其相干技术是微电子机械系统(MEMS)加工工艺的重要构成部门。均胶以及烘焙是光刻工艺中不可少的工序,为增长胶层与硅片表面粘附能力,提高在接触式暴光中胶层与掩模版接触时的耐磨性能及不变胶层的感光灵敏度。

智能烤胶机采用智能的控温技术,控温精准均匀,加热快速高效,维修简单方便,用于实验室或者批量生产前期的预处理。可在光刻工艺中的涂胶后的软烘,暴光后烘,显影后的坚膜,磨片粘片熔腊等,它采用整体铸造,加热板作为加热体,增强了设备的安全性。适用于各种控温精度高,加热均匀性要求高的实验室。

该产品在升温时,温度越高,和环境温差越大,其自然散热就越快,所以随着温度的升高,其升温速度是自然下降的。相反,在冷却时,温度越高,冷却速度越快。

本公司提供的HMS-901ASP智能烤胶机的优势:

1、增强红外线加热技术;

2、具有真空负压功能,表面设有若干吸附孔,可使被加热材料与表面紧密贴合,从而达到受热均匀效果;

3、带有加热保温盖,温度可设置,整个加热区形成一个保温腔,大大提高温度均匀度,也起到防尘作用;

4、自动进气功能;

5、过温保护功能、超温报警功能,计时功能,实验更安全、方便!

 


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