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为什么使用晶圆烤胶机?

发布日期: 2024-04-28
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  晶圆烤胶机也叫光刻烤胶机,是一种用于晶圆光刻胶真空烘焙和晶圆烘胶的设备。其核心功能是通过精确控制加热过程来固化晶圆上的光刻胶。
  晶圆烤胶机的加热板通常由具有良好热传导性的材料制成,如铝合金或石墨。这些材料能够快速且均匀地将热量传递给晶圆。通过精确控制加热板的温度,晶圆烤胶机可以实现对光刻胶的精确固化。
  晶圆烤胶机的温度控制范围广泛,通常可以实现从室温到几百摄氏度的精确调节。温度控制精度也非常高,可以满足不同工艺对温度的要求。此外,晶圆烤胶机还配备了超快速加热技术,使温度能够以每秒数摄氏度的速度迅速增加,从而提高了生产效率。
  晶圆烤胶机适用于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺的,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。可在工矿企业、科研、教育等单位进行老化、温度试验及干燥、烘焙和热处理等作生产、科研、教学之用。
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